알코올 감지소자 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 R.F. 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 알루미나 기판에 Pd나 Pt가 소량 첨가된 SnO 2 박막을 증착한 다음 열처리하여 제조한 반도체식 알코올 센서와 그 제조에 관한 것으로, 저가이고 휴대가 용이하며 소형, 고감도를 지닌 장점이 있다. 본 발명에서 사용한 제조 공정은 균질하고 나노결정질 입자크기에 의한 감지막의 비표면적 증가로 인하여 제한된 면적에서 감도를 향상 시킬 수 있는 기술이다. R.F. 마그네트론 스퍼터링법, SnO2박막, 알코올센서

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